AMAT 0010-28715 300 мм HTR MCA SST пръстен за продухване на нагревателя

Описание

AMAT 0010-28715 е високоефективен нагревател, произведен от Applied Materials, използван предимно за контрол на температурата в системи с електростатичен патронник (ESC) по време на производството на полупроводници.

Характеристика

• Прецизен контрол на температурата: Позволява точно регулиране на температурата на ESC в рамките на зададен диапазон, осигурявайки стабилност и надеждност в процеса на производство на полупроводници.
• Устойчивост на висока температура: Способен да издържа на температури до 300°C, пригоден за различни производствени процеси на полупроводници.
• Равномерно нагряване: Проектиран да осигури равномерно разпределение на температурата по повърхността на нагревателя, предотвратявайки дефекти в процеса, причинени от температурни несъответствия.
• Дълъг живот: Изработен от материали, устойчиви на висока температура, предлагащи удължен експлоатационен живот и намаляващи разходите за поддръжка.
• Широка съвместимост: Съвместим с различни модели електростатични патронници на Applied Materials.

Приложения

• Обработка на пластини: Контролира температурата на електростатичния патронник по време на процеси на ецване, отлагане и литография, като гарантира стабилност на процеса и качество на продукта.
• Изследвания и разработки: Осигурява прецизни среди за контрол на температурата за разработване на полупроводникови материали и устройства.
• Производство в голям обем: Поддържа последователността на процеса и подобрява ефективността на производството в съоръжения за производство на полупроводници с висок добив.