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AMAT

AMAT 0010-28715 300 mm HTR MCA SST Heizungsspülring

Artikelnummer 0010-28715    

  • Part Number:

    0010-28715    

  • Manufacturer:

    AMAT

  • Condition:

    Brand New & in Stock

  • Product Type:

    Heizungsspülring

  • Origin:

    USA

  • Shipping Detail:

    Fedex and UPS etc

  • Warranty:

    12 months

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Beschreibung

Der AMAT 0010-28715 ist ein Hochleistungsheizgerät von Applied Materials, das hauptsächlich zur Temperaturregelung in Electrostatic Chuck (ESC)-Systemen während der Halbleiterfertigung eingesetzt wird.

Merkmale

  • Präzise Temperaturregelung: Ermöglicht eine genaue Temperaturregelung des ESC innerhalb eines festgelegten Bereichs und gewährleistet so Stabilität und Zuverlässigkeit im Halbleiterherstellungsprozess.
  • Hochtemperaturtoleranz: Hält Temperaturen von bis zu 300 °C stand und ist für verschiedene Halbleiterherstellungsprozesse geeignet.
  • Gleichmäßige Erwärmung: Entwickelt, um eine gleichmäßige Temperaturverteilung über die Heizoberfläche zu gewährleisten und Prozessfehler durch Temperaturunterschiede zu vermeiden.
  • Lange Lebensdauer: Hergestellt aus hochtemperaturbeständigen Materialien, die eine längere Lebensdauer bieten und die Wartungskosten senken.
  • Umfassende Kompatibilität: Kompatibel mit verschiedenen Modellen der elektrostatischen Spannfutter von Applied Materials.

Anwendungen

  • Wafer-Verarbeitung: Steuert die Temperatur des elektrostatischen Chucks während Ätz-, Abscheidungs- und Lithographieprozessen und sorgt so für Prozessstabilität und Produktqualität.
  • Forschung und Entwicklung: Bietet präzise Temperaturkontrollumgebungen für die Entwicklung von Halbleitermaterialien und -geräten.
  • Großserienproduktion: Bewahrt die Prozesskonsistenz und verbessert die Produktionseffizienz in ertragsstarken Halbleiterfertigungsanlagen.
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AMAT APPLIED MATERIALS Heater Purge Ring
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