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InquirySpezifikationen:
- Modell: 0010-59798
- Hersteller : Applied Materials
- Typ : Keramikheizung
- Maximale Temperatur: 1200°C
- Heizelement: Siliziumkarbid (SiC)
Hauptmerkmale:
- Hochtemperaturleistung: Funktioniert effizient bei Temperaturen bis zu 1200 °C.
- Gleichmäßige Erwärmung: Sorgt für eine gleichmäßige Temperaturverteilung auf der Heizfläche.
- Schnelle Aufheizgeschwindigkeit: Erreicht schnell die eingestellte Temperatur.
- Lange Lebensdauer: Konzipiert für längere Nutzung bei minimalem Wartungsbedarf.
- Starke Kompatibilität: Kann mit verschiedenen Geräten zur Halbleiterherstellung verwendet werden.
Anwendungen:
- Wird hauptsächlich in der Halbleiterfertigung verwendet, insbesondere für epitaktische Abscheidungsprozesse.
- Ermöglicht das Wachstum dünner Filme (z. B. Silizium, Germanium und III-V-Verbindungen) durch Erhitzen des Substrats.
- Auch anwendbar in Prozessen wie der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD).
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