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DerAMAT 0010-27983 ist eine Halbleiterausrüstungskomponente, die von Applied Materials (AMAT) hergestellt wird. Konkret handelt es sich um eine Heizeinheit für ein 300-mm-Siliziumwafer-Bearbeitungssystem, das für den Einsatz in MCA (Mechanical Clamping Assembly) und E-Chuck ESC (Electrostatic Chuck System) konzipiert ist.
Spezifikationen
- Hersteller: Applied Materials (AMAT)
- Modell: 0010-27983
- Typ : MCA E-Chuck ESC-Heizung
- Größe : 300 mm
- Verwendung : Halbleiterherstellung
Hauptmerkmale
- Heizfunktion: Bietet eine präzise Heizungssteuerung für das E-Chuck, um spezifische Prozessanforderungen zu erfüllen.
- Kompatibilität: Entwickelt für das MCA E-Chuck-System von AMAT und funktioniert in Verbindung mit verwandten Geräten.
- Größe: Maßgeschneidert für 300-mm-Siliziumwafer.
- Anwendung: Wird hauptsächlich in der Halbleiterherstellung zum Erhitzen und Verarbeiten von Wafern verwendet.
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