AMAT 0010-28715 Anillo de purga del calentador HTR MCA SST de 300 mm

Descripción

El AMAT 0010-28715 es un calentador de alto rendimiento producido por Applied Materials, utilizado principalmente para el control de temperatura en sistemas de mandriles electrostáticos (ESC) durante la fabricación de semiconductores.

Características

• Control de temperatura preciso: permite una regulación precisa de la temperatura del ESC dentro de un rango establecido, lo que garantiza estabilidad y confiabilidad en el proceso de fabricación de semiconductores.
• Tolerancia a altas temperaturas: capaz de soportar temperaturas de hasta 300 °C y se adapta a varios procesos de fabricación de semiconductores.
• Calefacción uniforme: Diseñado para proporcionar una distribución uniforme de la temperatura en toda la superficie del calentador, evitando defectos en el proceso causados ​​por inconsistencias de temperatura.
• Larga vida útil: Fabricado con materiales resistentes a altas temperaturas, ofrece una vida útil prolongada y reduce los costos de mantenimiento.
• Amplia compatibilidad: Compatible con varios modelos de mandriles electrostáticos de Applied Materials.

Aplicaciones

• Procesamiento de obleas: Controla la temperatura del mandril electrostático durante los procesos de grabado, deposición y litografía, asegurando la estabilidad del proceso y la calidad del producto.
• Investigación y desarrollo: proporciona entornos de control de temperatura precisos para el desarrollo de dispositivos y materiales semiconductores.
• Producción de alto volumen: mantiene la coherencia del proceso y mejora la eficiencia de la producción en instalaciones de fabricación de semiconductores de alto rendimiento.