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InquirySpecifiche:
- Modello: 0010-59798
- Produttore : Applied Materials
- Tipo : Riscaldatore ceramico
- Temperatura massima: 1200°C
- Elemento riscaldante: carburo di silicio (SiC)
Caratteristiche principali:
- Prestazioni alle alte temperature: funziona in modo efficiente a temperature fino a 1200°C.
- Riscaldamento uniforme: garantisce una distribuzione uniforme della temperatura sulla superficie riscaldante.
- Velocità di riscaldamento rapida: raggiunge rapidamente la temperatura impostata.
- Lunga durata: progettato per un uso prolungato con esigenze di manutenzione minime.
- Forte compatibilità: può essere utilizzato con varie apparecchiature per la produzione di semiconduttori.
Applicazioni:
- Utilizzato principalmente nella produzione di semiconduttori, in particolare per i processi di deposizione epitassiale.
- Consente la crescita di film sottili (come silicio, germanio e composti III-V) riscaldando il substrato.
- Applicabile anche in processi quali la deposizione chimica in fase vapore (CVD) e la deposizione chimica in fase vapore potenziata dal plasma (PECVD).
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