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IlAMAT 0010-27983 è un componente di apparecchiature a semiconduttore prodotto da Applied Materials (AMAT). Nello specifico, si tratta di un'unità di riscaldamento per un sistema di lavorazione di wafer di silicio da 300 mm, progettata per l'uso in MCA (Mechanical Clamping Assembly) E-Chuck ESC (Electrostatic Chuck System).
Specifiche
- Produttore: Materiali applicati (AMAT)
- Modello: 0010-27983
- Tipo : riscaldatore ESC MCA E-Chuck
- Dimensioni : 300mm
- Utilizzo : produzione di semiconduttori
Caratteristiche principali
- Funzione di riscaldamento: fornisce un controllo preciso del riscaldamento dell'E-Chuck per soddisfare requisiti di processo specifici.
- Compatibilità: progettato per il sistema MCA E-Chuck di AMAT e funziona insieme alle apparecchiature correlate.
- Dimensioni: su misura per wafer di silicio da 300 mm.
- Applicazione: utilizzato principalmente nella produzione di semiconduttori per il riscaldamento e la lavorazione dei wafer.
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