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InquiryEspecificações:
- Modelo: 0010-59798
- Fabricante : Applied Materials
- Tipo : Aquecedor de cerâmica
- Temperatura máxima : 1200°C
- Elemento de aquecimento: Carboneto de Silício (SiC)
Características principais:
- Desempenho em altas temperaturas: Opera com eficiência em temperaturas de até 1200°C.
- Aquecimento uniforme : garante uma distribuição uniforme da temperatura em toda a superfície de aquecimento.
- Velocidade de aquecimento rápida: Atinge rapidamente a temperatura definida.
- Longa vida útil: Projetado para uso prolongado com necessidades mínimas de manutenção.
- Forte compatibilidade: Pode ser usado com vários equipamentos de fabricação de semicondutores.
Formulários:
- Usado principalmente na fabricação de semicondutores, particularmente para processos de deposição epitaxial.
- Permite o crescimento de filmes finos (como silício, germânio e compostos III-V) aquecendo o substrato.
- Também aplicável em processos como Deposição Química de Vapor (CVD) e Deposição Química de Vapor Aprimorada por Plasma (PECVD).
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