AMAT 0041-75950 เครื่องปฏิกรณ์แบบสะสมไอเคมี

คำอธิบาย

AMAT 0041-75950 คือเครื่องปฏิกรณ์การตกสะสมไอสารเคมี (CVD) ซึ่งได้รับการออกแบบให้เป็นเครื่องปฏิกรณ์แบบควบคุมอุณหภูมิหรือความร้อนสำหรับการสะสมของฟิล์มบาง ใช้สำหรับติดฟิล์มที่สม่ำเสมอและสม่ำเสมอบนพื้นผิวต่างๆ เครื่องปฏิกรณ์ประกอบด้วยห้องปฏิกิริยาซึ่งอยู่ในภาชนะปิดผนึกสุญญากาศ ช่วยให้สามารถควบคุมความร้อนได้อย่างแม่นยำและถ่ายโอนวัสดุได้อย่างมีประสิทธิภาพ อุปกรณ์นี้ทำงานในช่วงอุณหภูมิตั้งแต่อุณหภูมิห้องจนถึง 1,000°C ทำให้สามารถสะสมวัสดุฟิล์มบางได้หลากหลาย

ข้อมูลจำเพาะ

• แบบอย่าง: 0041-75950
• ผู้ผลิต: วัสดุประยุกต์ (AMAT)
• ประเภท: เครื่องปฏิกรณ์การสะสมไอสารเคมี (CVD)
• ช่วงอุณหภูมิ: อุณหภูมิห้องถึง 1000°C
• พื้นผิวที่เข้ากันได้: ซิลิคอน แซฟไฟร์ ควอทซ์ แก้ว
• วัสดุสะสม: ซิลิคอนไนไตรด์ ซิลิคอนไดออกไซด์ อะลูมิเนียมไนไตรด์ และอื่นๆ
• วิธีการทำความร้อน: การระดมยิงด้วยอิเล็กตรอน การทำความร้อนแบบเหนี่ยวนำ และแหล่งอื่นๆ

คุณสมบัติ

• ห้องควบคุมอุณหภูมิ: ห้องปฏิกิริยาได้รับการออกแบบมาเพื่อควบคุมอุณหภูมิที่แม่นยำ โดยรองรับทั้งฟังก์ชันการทำความร้อนและความเย็นเพื่อการสะสมฟิล์มที่เหมาะสมที่สุด
• ระบบควบคุมแก๊ส:หน่วยควบคุมแก๊สส่งก๊าซในปริมาณที่ถูกต้องไปยังห้องปฏิกิริยาในระหว่างกระบวนการสะสม ทำให้มั่นใจในการควบคุมคุณภาพของฟิล์มบางได้อย่างแม่นยำ
• แหล่งที่มาของการสะสม:แหล่งที่มาของการสะสมจะควบคุมการจ่ายวัสดุไปยังห้องปฏิกิริยา ซึ่งวัสดุจะสะสมอยู่บนพื้นผิว
• เซ็นเซอร์ทำความร้อนอเนกประสงค์: เครื่องปฏิกรณ์มีเซ็นเซอร์แม่เหล็กที่ให้ความร้อนหรือเย็น ซึ่งสามารถใช้วิธีการทำความร้อนได้หลากหลาย เช่น การระดมยิงด้วยอิเล็กตรอน และการทำความร้อนแบบเหนี่ยวนำ
• ความเข้ากันได้ของวัสดุหลายประเภท: เครื่องปฏิกรณ์ได้รับการออกแบบมาให้สะสมฟิล์มบนพื้นผิวที่หลากหลาย รวมถึงซิลิคอน แซฟไฟร์ ควอตซ์ และแก้ว
• วัสดุฟิล์มบาง:สามารถสะสมฟิล์มบางได้หลายประเภท เช่น ซิลิคอนไนไตรด์ ซิลิคอนไดออกไซด์ และอะลูมิเนียมไนไตรด์ ทำให้มีความหลากหลายสำหรับการใช้งานที่แตกต่างกัน
• การออกแบบที่ใช้งานง่าย: เครื่องปฏิกรณ์มีอินเทอร์เฟซคอมพิวเตอร์ที่ใช้งานง่าย และมีตัวเลือกการทำงานทั้งแบบอัตโนมัติและแบบแมนนวลเพื่อความสะดวกของผู้ใช้
• การควบคุมที่แม่นยำ:ให้การควบคุมอุณหภูมิ การไหลของก๊าซ และอัตราการสะสมที่แม่นยำ ทำให้เหมาะสำหรับการใช้งานที่หลากหลายในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ออปโตอิเล็กทรอนิกส์ และโฟโตเมคานิกส์
• การออกแบบทางกลที่แข็งแกร่ง:สร้างขึ้นด้วยวัสดุที่ทนทานและการออกแบบทางกลที่แข็งแกร่ง เครื่องปฏิกรณ์จึงรับประกันการทำงานที่ปลอดภัยและเชื่อถือได้