คำอธิบาย
เครื่องปฏิกรณ์ AMAT 0010-59787 PECVD เป็นห้องสะสมที่ออกแบบมาเพื่อสะสมฟิล์มบางหรือชั้นบนพื้นผิวที่ใช้ในอุปกรณ์และระบบอิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ ระบบใช้กระบวนการสะสมไอสารเคมี (CVD) เพื่อฝากวัสดุฟิล์มที่ต้องการลงบนพื้นผิวของสารตั้งต้น
ข้อมูลจำเพาะ
-
ประเภทเครื่องปฏิกรณ์: PECVD (การสะสมไอสารเคมีด้วยพลาสม่า)
-
การโหลดพื้นผิว: ห้องโหลดเดี่ยวอัตโนมัติ
-
โมดูลแบบรวม: ระบบส่งกำลัง สุญญากาศ และก๊าซ
-
กระบวนการสะสม : CVD ความดันต่ำ อุณหภูมิต่ำ (LP-CVD)
-
การควบคุมกระบวนการ : อินเทอร์เฟซกราฟิกพร้อมการบันทึกข้อมูลอย่างครอบคลุม
-
หน้าต่างการทำงาน: อุณหภูมิที่ปรับได้ ความดัน และพารามิเตอร์กระบวนการ
-
ก๊าซในกระบวนการผลิต: รองรับก๊าซที่เกิดปฏิกิริยาหลายชนิด
คุณสมบัติ
-
การออกแบบห้อง: การออกแบบห้องที่ใช้งานง่ายช่วยให้เกิดการสะสมตัวที่ดีเยี่ยมและความหนาของชั้นที่สม่ำเสมอทั่วทั้งพื้นผิวของวัสดุพิมพ์
-
ระบบอัตโนมัติและการบูรณาการ: เครื่องปฏิกรณ์มีห้องขนถ่ายอัตโนมัติ รวมถึงโมดูลจ่ายพลังงาน สุญญากาศ และก๊าซในตัว การออกแบบนี้ช่วยลดเวลาในการจัดการวัสดุพิมพ์ ทำให้มั่นใจได้ว่าเวลาการประมวลผลโดยรวมจะสั้นลง
-
อุณหภูมิกระบวนการสูง: ห้องเพาะเลี้ยงสามารถบรรลุอุณหภูมิกระบวนการที่สูงกว่ากระบวนการ CVD ความร้อนแบบดั้งเดิม ทำให้สามารถผลิตฟิล์มบางคุณภาพสูงขึ้นได้
-
การทำงานที่เป็นมิตรต่อผู้ใช้: ระบบได้รับการออกแบบมาให้ใช้งานได้ง่ายและเป็นธรรมชาติ โดยมีอินเทอร์เฟซแบบกราฟิกที่ใช้งานง่ายและสถาปัตยกรรมระบบที่แข็งแกร่ง
-
พารามิเตอร์การประมวลผลที่ยืดหยุ่น: กรอบกระบวนการที่กว้างช่วยให้ผู้ใช้สามารถปรับอุณหภูมิ ความดัน และพารามิเตอร์อื่นๆ ตามความต้องการของการสะสมที่เฉพาะเจาะจง ความยืดหยุ่นนี้สนับสนุนการผลิตฟิล์มคุณภาพสูงหลายประเภท
-
กระบวนการ LP-CVD: ระบบส่งก๊าซปฏิกิริยาใช้ CVD ความดันต่ำและอุณหภูมิต่ำเพื่อฝากวัสดุฟิล์มบางที่ต้องการลงบนพื้นผิวของวัสดุพิมพ์ กระบวนการ LP-CVD ช่วยให้ผู้ใช้สามารถเลือกจากก๊าซปฏิกิริยาหลายชนิดและปรับองค์ประกอบของก๊าซ ทำให้สามารถสร้างฟิล์มที่มีความเชี่ยวชาญสูงได้
-
การสะสมฟิล์มบางที่สม่ำเสมอ : การออกแบบห้องช่วยให้การสะสมฟิล์มมีความสม่ำเสมอสูงและมีศักยภาพในการสร้างโปรไฟล์ความหนาของฟิล์มที่แม่นยำและทำซ้ำได้ทั่วพื้นผิววัสดุพิมพ์
-
การควบคุมกระบวนการ: ระบบมาพร้อมกับตัวควบคุมที่ใช้งานง่าย โดยนำเสนอการบันทึกข้อมูลที่ครอบคลุมและคุณสมบัติการควบคุมกระบวนการ เพื่อให้มั่นใจในความปลอดภัยของกระบวนการและผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอและเชื่อถือได้
Topbrands PLC Limited is a top supplier of genuine new PLC and DCS parts, serving over 50 countries globally. We offer high-quality products from renowned brands like Bently Nevada, Honeywell, ABB, and more. With our warehouse in China stocking up to 30,000 pieces, we ensure rapid delivery to meet urgent order needs while maintaining competitive pricing to save our customers' budgets. Learn more...
Contact Information