Tanım
AMAT 0010-59787 PECVD reaktörü, çeşitli elektronik cihaz ve sistemlerde kullanılan alt tabakalar üzerine ince filmler veya katmanlar biriktirmek için tasarlanmış bir biriktirme odasıdır. Sistem, istenen film malzemesini alt tabakanın yüzeyine biriktirmek için bir Kimyasal Buhar Biriktirme (CVD) işlemini kullanır.
Özellikler
-
Reaktör Türü: PECVD (Plazmayla Geliştirilmiş Kimyasal Buhar Biriktirme)
-
Alt Tabaka Yükleme: Otomatik tek yükleme bölmesi
-
Entegre Modüller: Güç, vakum ve gaz dağıtım sistemi
-
Biriktirme Süreci: Düşük basınçlı, düşük sıcaklıkta CVD (LP-CVD)
-
Süreç Kontrolü: Kapsamlı veri kaydına sahip grafik arayüz
-
Çalıştırma Penceresi: Ayarlanabilir sıcaklık, basınç ve proses parametreleri
-
Proses Gazı: Birden fazla reaktif gazı destekler
Özellikler
-
Bölme Tasarımı: Kullanımı kolay bölme tasarımı, alt tabaka yüzeyi boyunca mükemmel biriktirme eşitliği ve tutarlı katman kalınlığı sağlar.
-
Otomasyon ve Entegrasyon: Reaktör, otomatik bir yükleme ve boşaltma odasının yanı sıra entegre güç, vakum ve gaz dağıtım modülleriyle donatılmıştır. Bu tasarım, alt tabaka işleme süresini en aza indirerek genel işlem sürelerinin daha kısa olmasını sağlar.
-
Yüksek Proses Sıcaklığı: Oda, geleneksel termal CVD proseslerine göre daha yüksek proses sıcaklıklarına ulaşabilir, böylece daha kaliteli ince filmlerin üretimi sağlanır.
-
Kullanıcı Dostu Çalışma: Sistem, gezinmesi kolay bir grafik arayüze ve sağlam bir sistem mimarisine sahip, basit ve sezgisel kullanım için tasarlanmıştır.
-
Esnek İşleme Parametreleri: Geniş bir işlem penceresi, kullanıcıların belirli biriktirme ihtiyaçlarına göre sıcaklığı, basıncı ve diğer parametreleri ayarlamasına olanak tanır. Bu esneklik, geniş bir yelpazede yüksek kaliteli filmlerin üretimini destekler.
-
LP-CVD Süreci: Reaktif gaz dağıtım sistemi, gerekli ince film malzemesini alt tabaka yüzeyine biriktirmek için düşük basınçlı, düşük sıcaklıktaki CVD'yi kullanır. LP-CVD işlemi, kullanıcıların birden fazla reaktif gaz arasından seçim yapmasına ve gaz bileşimini ayarlamasına olanak tanıyarak son derece özel filmlerin oluşturulmasına olanak tanır.
-
Düzgün İnce Film Biriktirme: Bölme tasarımı, alt tabaka yüzeyi boyunca hassas ve tekrarlanabilir film kalınlığı profilleri potansiyeli ile son derece düzgün film birikimi sağlar.
-
Proses Kontrolü: Kullanıcı dostu kontrolörlerle donatılmış sistem, kapsamlı veri kaydı ve proses kontrol özellikleri sunarak proses güvenliğini ve tutarlı, güvenilir sonuçları garanti eder.
Topbrands PLC Limited is a top supplier of genuine new PLC and DCS parts, serving over 50 countries globally. We offer high-quality products from renowned brands like Bently Nevada, Honeywell, ABB, and more. With our warehouse in China stocking up to 30,000 pieces, we ensure rapid delivery to meet urgent order needs while maintaining competitive pricing to save our customers' budgets. Learn more...
Contact Information