Sự miêu tả
Lò phản ứng PECVD AMAT 0010-59787 là buồng lắng đọng được thiết kế để lắng đọng các màng hoặc lớp mỏng lên các chất nền được sử dụng trong các hệ thống và thiết bị điện tử khác nhau. Hệ thống sử dụng quy trình lắng đọng hơi hóa học (CVD) để lắng đọng vật liệu màng mong muốn lên bề mặt chất nền.
Thông số kỹ thuật
-
Loại lò phản ứng: PECVD (Lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma)
-
Tải bề mặt: Buồng tải đơn tự động
-
Mô-đun tích hợp: Hệ thống phân phối điện, chân không và khí đốt
-
Quá trình lắng đọng : CVD áp suất thấp, nhiệt độ thấp (LP-CVD)
-
Kiểm soát quy trình : Giao diện đồ họa với khả năng ghi dữ liệu mở rộng
-
Cửa sổ vận hành: Có thể điều chỉnh các thông số nhiệt độ, áp suất và quy trình
-
Khí xử lý : Hỗ trợ nhiều loại khí phản ứng
Đặc trưng
-
Thiết kế buồng:Thiết kế buồng dễ sử dụng cho phép lắng đọng đồng đều tuyệt vời và độ dày lớp nhất quán trên bề mặt nền.
-
Tự động hóa và tích hợp : Lò phản ứng được trang bị buồng nạp và dỡ tự động, cũng như các mô-đun cung cấp điện, chân không và khí tích hợp. Thiết kế này giảm thiểu thời gian xử lý chất nền, đảm bảo thời gian xử lý tổng thể ngắn hơn.
-
Nhiệt độ xử lý cao: Buồng có thể đạt được nhiệt độ xử lý cao hơn so với quy trình CVD nhiệt truyền thống, cho phép sản xuất màng mỏng chất lượng cao hơn.
-
Hoạt động thân thiện với người dùng:Hệ thống được thiết kế để vận hành đơn giản, trực quan, có giao diện đồ họa dễ điều hướng và kiến trúc hệ thống mạnh mẽ.
-
Thông số xử lý linh hoạt: Cửa sổ quy trình rộng cho phép người dùng điều chỉnh nhiệt độ, áp suất và các thông số khác dựa trên nhu cầu lắng đọng cụ thể. Tính linh hoạt này hỗ trợ sản xuất nhiều loại phim chất lượng cao.
-
Quy trình LP-CVD:Hệ thống phân phối khí phản ứng sử dụng CVD áp suất thấp, nhiệt độ thấp để lắng đọng vật liệu màng mỏng cần thiết lên bề mặt nền. Quy trình LP-CVD cho phép người dùng lựa chọn từ nhiều loại khí phản ứng và điều chỉnh thành phần khí, cho phép tạo ra các màng có tính chuyên dụng cao.
-
Lắng đọng màng mỏng đồng đều:Thiết kế buồng đảm bảo sự lắng đọng màng đồng đều cao với khả năng tạo ra các biên dạng độ dày màng chính xác và có thể lặp lại trên bề mặt nền.
-
Kiểm soát quy trình:Được trang bị bộ điều khiển thân thiện với người dùng, hệ thống cung cấp các tính năng kiểm soát quy trình và ghi dữ liệu mở rộng, đảm bảo an toàn quy trình và kết quả nhất quán, đáng tin cậy.
Topbrands PLC Limited is a top supplier of genuine new PLC and DCS parts, serving over 50 countries globally. We offer high-quality products from renowned brands like Bently Nevada, Honeywell, ABB, and more. With our warehouse in China stocking up to 30,000 pieces, we ensure rapid delivery to meet urgent order needs while maintaining competitive pricing to save our customers' budgets. Learn more...
Contact Information