AMAT 0010-28715 300 mm HTR MCA SST Anneau de purge de chauffage

Description

L'AMAT 0010-28715 est un appareil de chauffage haute performance produit par Applied Materials, principalement utilisé pour le contrôle de la température dans les systèmes de mandrin électrostatique (ESC) lors de la fabrication de semi-conducteurs.

Caractéristiques

• Contrôle précis de la température : permet une régulation précise de la température du contrôleur dans une plage définie, garantissant ainsi la stabilité et la fiabilité du processus de fabrication des semi-conducteurs.
• Tolérance aux hautes températures : capable de résister à des températures allant jusqu'à 300 °C, s'adaptant à divers processus de fabrication de semi-conducteurs.
• Chauffage uniforme : conçu pour fournir une répartition uniforme de la température sur toute la surface du radiateur, évitant ainsi les défauts de processus causés par des incohérences de température.
• Longue durée de vie : fabriqué à partir de matériaux résistants aux températures élevées, offrant une durée de vie prolongée et réduisant les coûts de maintenance.
• Large compatibilité : compatible avec différents modèles de mandrins électrostatiques d'Applied Materials.

Applications

• Traitement des plaquettes : contrôle la température du mandrin électrostatique pendant les processus de gravure, de dépôt et de lithographie, garantissant ainsi la stabilité du processus et la qualité du produit.
• Recherche et développement : fournit des environnements de contrôle précis de la température pour le développement de matériaux et de dispositifs semi-conducteurs.
• Production en grand volume : maintient la cohérence des processus et améliore l'efficacité de la production dans les installations de fabrication de semi-conducteurs à haut rendement.