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L'AMAT 0010-27983 est un composant d'équipement semi-conducteur produit par Applied Materials (AMAT). Plus précisément, il s'agit d'une unité de chauffage pour un système de traitement de plaquettes de silicium de 300 mm, conçue pour être utilisée dans le MCA (Mechanical Clamping Assembly) E-Chuck ESC (Electrostatic Chuck System).
Caractéristiques
- Fabricant : Matériaux appliqués (AMAT)
- Modèle: 0010-27983
- Type : Chauffage ESC MCA E-Chuck
- Taille : 300 mm
- Utilisation : Fabrication de semi-conducteurs
Principales caractéristiques
- Fonction de chauffage : fournit un contrôle précis du chauffage pour l'E-Chuck afin de répondre aux exigences spécifiques du processus.
- Compatibilité : conçu pour le système MCA E-Chuck d'AMAT et fonctionne avec les équipements associés.
- Taille : Adapté aux plaquettes de silicium de 300 mm.
- Application : principalement utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs pour le chauffage et le traitement des plaquettes.
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