Apraksts
AMAT 0010-59787 PECVD reaktors ir nogulsnēšanas kamera, kas paredzēta plānu kārtiņu vai slāņu uzklāšanai uz substrātiem, ko izmanto dažādās elektroniskās ierīcēs un sistēmās. Sistēma izmanto ķīmisko tvaiku pārklāšanas (CVD) procesu, lai uz substrāta virsmas uzklātu vēlamo plēves materiālu.
Specifikācijas
-
Reaktora tips: PECVD (plazmas uzlabota ķīmiskā tvaiku nogulsnēšanās)
-
Substrāta ielāde: automatizēta viena iekraušanas kamera
-
Integrētie moduļi: barošanas, vakuuma un gāzes padeves sistēma
-
Nogulsnēšanas process: zema spiediena, zemas temperatūras CVD (LP-CVD)
-
Procesu kontrole : Grafiskais interfeiss ar plašu datu reģistrēšanu
-
Darbības logs : regulējama temperatūra, spiediens un procesa parametri
-
Apstrādes gāze: atbalsta vairākas reaktīvas gāzes
Iespējas
-
Kameras dizains: ērti lietojams kameras dizains nodrošina izcilu nogulsnēšanās vienmērīgumu un vienmērīgu slāņa biezumu visā pamatnes virsmā.
-
Automatizācija un integrācija: reaktors ir aprīkots ar automatizētu iekraušanas un izkraušanas kameru, kā arī integrētiem jaudas, vakuuma un gāzes padeves moduļiem. Šis dizains samazina substrāta apstrādes laiku, nodrošinot īsāku kopējo apstrādes laiku.
-
Augsta procesa temperatūra: kamerā var sasniegt augstāku procesa temperatūru nekā tradicionālajos termiskajos CVD procesos, tādējādi ļaujot ražot augstākas kvalitātes plānās kārtiņas.
-
Lietotājam draudzīga darbība : Sistēma ir paredzēta vienkāršai, intuitīvai darbībai, tai ir viegli orientējams grafiskais interfeiss un stabila sistēmas arhitektūra.
-
Elastīgi apstrādes parametri: plašs procesa logs ļauj lietotājiem pielāgot temperatūru, spiedienu un citus parametrus, pamatojoties uz īpašām uzklāšanas vajadzībām. Šī elastība atbalsta plašu augstas kvalitātes filmu klāsta ražošanu.
-
LP-CVD process: reaktīvā gāzes padeves sistēma izmanto zema spiediena un zemas temperatūras CVD, lai uz substrāta virsmas nogulsnētu nepieciešamo plānās kārtiņas materiālu. LP-CVD process ļauj lietotājiem izvēlēties no vairākām reaktīvām gāzēm un pielāgot gāzes sastāvu, ļaujot izveidot ļoti specializētas plēves.
-
Vienmērīga plānās plēves uzklāšana: kameras dizains nodrošina ļoti vienmērīgu plēves uzklāšanu ar iespējamu precīzu un atkārtojamu plēves biezuma profilu visā pamatnes virsmā.
-
Procesu vadība: sistēma ir aprīkota ar lietotājam draudzīgiem kontrolieriem, un tā piedāvā plašas datu ierakstīšanas un procesa kontroles funkcijas, nodrošinot procesa drošību un konsekventus, uzticamus rezultātus.
Topbrands PLC Limited is a top supplier of genuine new PLC and DCS parts, serving over 50 countries globally. We offer high-quality products from renowned brands like Bently Nevada, Honeywell, ABB, and more. With our warehouse in China stocking up to 30,000 pieces, we ensure rapid delivery to meet urgent order needs while maintaining competitive pricing to save our customers' budgets. Learn more...
Contact Information